負壓法氦檢漏系統
系統原理示意圖
基本功能
1 對被檢工件內部抽空；
2 對被檢工件進行保壓檢大漏；
3 對被檢工件表面噴氦；
4 利用氦質譜檢漏儀自動判斷工件漏率是否合格。
技術參數及優缺點
1、 檢測精度高；
2、 定性不定量；
3、 氦氣耗費大；
4、 設備成本低。
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基本功能
1 對被檢工件內部抽空；
2 對被檢工件進行保壓檢大漏；
3 對被檢工件表面噴氦；
4 利用氦質譜檢漏儀自動判斷工件漏率是否合格。
技術參數及優缺點
1、 檢測精度高；
2、 定性不定量；
3、 氦氣耗費大；
4、 設備成本低。
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